장비명

테이블탑 주사 전자현미경 ( SEM )

용도

• 전자현미경으로서 전자를 영상신호로 변환하여 ㎛이하의 작은 크기를 즉정하게 됩니다.
• X,Y,T축의 자동기능으로 시료의 이동이 가능하며 최대 150,000배의 고배율로 관찰이 가능합니다.
• 또한 EDS 디렉터가 장비에 내장되어 있어 성분 분석을 동시에 진행할 수 있습니다.

특징

• 진공은 터보펌프를 이용하여 최대 10^-6 torr의 진공도를 만들 수 있습니다.
• 고휘도 디텍터를 이용하여 고휘도 이미지를 얻으며 EDS를 통해 시료의 성분분석도 가능합니다.
• EDS분석기는 돌출되지 않고 전자현미경 내부에 인입 장착되어 있어 안전하게 사용할 수 있습니다.